La línea de producción de recubrimiento de pulverización del magnetrón horizontal es una importante configuración del equipo de deposición de vapor físico.
Su característica central es que el sustrato (pieza de trabajo) se coloca horizontalmente durante el proceso de recubrimiento.
Este diseño trae características únicas y ventajas de aplicaciones, lo que lo hace insustituible en campos específicos.
Aplicaciones:
Deposición de películas compuestas de múltiples capas en la superficie de vidrio, cerámica y productos planos;
Características:
Colocación del sustrato horizontal
Esta es la característica central. El sustrato (como placa de vidrio, oblea de silicio, placa de metal, lámina de plástico, etc.) se coloca horizontalmente en un portador (como una bandeja, marco) o se transporta horizontalmente a través del área de recubrimiento por un mecanismo transportador.
Producción continua
Las líneas horizontales son muy adecuadas para diseñar una producción continua o en línea.
Los sustratos se pueden cargar secuencialmente, enviarse a la cámara de pulverización para recubrimiento y luego enviar y descargar, logrando operaciones eficientes de línea de ensamblaje a gran escala.
Fácil de integrar la automatización
La colocación horizontal y el diseño lineal son muy convenientes para integrar robots de carga/descarga automatizados, sistemas de transmisión (como rodillos, transportadores de cadenas, robots), equipos de detección en línea, etc. para lograr una producción altamente automatizada.
Para sustratos planos
Particularmente bueno para procesar sustratos planos o ligeramente curvos (como vidrio arquitectónico, vidrio fotovoltaico, sustratos de pantalla de panel plano, rollos flexibles).
Pequeña influencia de la gravedad
La colocación horizontal hace que la dirección de la gravedad perpendicular a la superficie del sustrato.
Para las partículas que pueden generarse durante el proceso de pulverización, la influencia de la sedimentación de la gravedad en la uniformidad de la capa de película es relativamente pequeña (en comparación con el tipo vertical).
Operación y mantenimiento convenientes
Los principales equipos y componentes generalmente se encuentran a las alturas que son fácilmente accesibles para los operadores, lo que hace que la operación diaria, el monitoreo y el mantenimiento sean convenientes.
Ventaja:
Eficiencia y capacidad de producción extremadamente alta
Producción continua:
Esta es la mayor ventaja de la línea horizontal. El sustrato se puede ingresar y salida continuamente, y el proceso de pulverización se completa durante el movimiento continuo o paso a paso del sustrato, que es particularmente adecuado para las necesidades de producción de variedades a gran escala o limitada.
Excelente uniformidad de recubrimiento de área grande
Para sustratos planos (especialmente placas de vidrio rectangulares), se puede lograr uniformidad de espesor de película muy alta en un área grande diseñando cuidadosamente el diseño objetivo, la distribución del campo magnético, la velocidad de transferencia de sustrato y la distancia de subtrato objetivo.
Excelente estabilidad del proceso y repetibilidad
Los procesos altamente automatizados y continuos reducen la intervención humana y los errores operativos
Velocidad de transmisión estable y control preciso de los parámetros del proceso (presión de gas, potencia, flujo de gas) garantizar la estabilidad del proceso entre lotes y durante largos períodos de tiempo.
Excelente compatibilidad y flexibilidad del sustrato
Materiales diversos: adecuados para una variedad de sustratos planos como vidrio, láminas de metal, obleas de silicio, cerámica y plásticos específicos.
Deposición de películas multicapa fácil de lograr
Al organizar objetivos de pulverización de diferentes materiales en secuencia en la ruta de transmisión y pasar el sustrato a través de estas posiciones objetivo en secuencia, las películas delgadas de múltiples materiales se pueden depositar continuamente en un proceso de transmisión para formar un sistema de película múltiple complejo de cine múltiple (como la película de cine múltiples de filmas de filmas de la plata).
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