El equipo de pulverización de magnetrón se compone principalmente de las siguientes partes:
1. Material objetivo: el componente central del equipo de pulverización de magnetrón, generalmente hecho de metal, aleación y otros materiales.
2. Cámara de vacío: el entorno operativo de los equipos de pulverización de magnetrón debe llevarse a cabo en condiciones de altas aspiradoras, y la cámara de vacío desempeña el papel de mantener el vacío.
3. Sistema de magnetrón: el campo magnético se usa para controlar el bombardeo de iones en la superficie del material objetivo para causar pulverización.
4. Marco del sustrato: se utiliza para admitir el material del sustrato a procesar.
5. Sistema de calentamiento: en algunos casos, el material objetivo y el sustrato deben calentarse para controlar el proceso de pulverización.
