Tome la máquina de recubrimiento de múltiples arcos como ejemplo, su estructura se puede dividir aproximadamente en tres partes principales. El primero es la cavidad de la cámara de vacío, que es el núcleo de todo el equipo y se utiliza para mantener un ambiente de alto vacío durante el proceso de recubrimiento. El segundo es la parte de la unidad, incluidas las válvulas de tubería y varias bombas, que trabajan juntas para mantener el estado de vacío en la cámara de vacío. Finalmente, está el sistema de control eléctrico, que es el cerebro de todo el equipo y es responsable de regular la operación de cada componente para garantizar el progreso suave del proceso de recubrimiento.
La cavidad de la cámara de vacío generalmente está hecha de materiales de alta resistencia para garantizar que permanezca estable a alta temperatura y alta presión. Hay múltiples puntos de soporte diseñados dentro de la cavidad para arreglar las piezas de trabajo para que se saqueen para que puedan mantener sus posiciones sin cambios durante el proceso de recubrimiento. Al mismo tiempo, la cavidad está muy bien sellada y puede evitar que el aire ingrese para garantizar un entorno de vacío.
La parte de la unidad incluye varios tipos de bombas, como bombas mecánicas, bombas moleculares, etc., que agotan el exceso de gas en la cámara de vacío al bombear aire para mantener el grado de vacío requerido. Además, la configuración de las válvulas de tubería también es muy crítica. Pueden controlar con precisión el flujo de gas y materiales para garantizar el suministro de materiales y la descarga de gas durante el proceso de recubrimiento.
El sistema de control eléctrico es el cerebro de todo el dispositivo. Monitorea varios parámetros en la cámara de vacío en tiempo real, como grado de vacío, temperatura, presión, etc., a través de varios sensores y actuadores, y se ajusta automáticamente de acuerdo con el programa preestablecido. Además, el sistema de control eléctrico también puede monitorear el estado operativo del equipo. Una vez que ocurre una anormalidad, puede emitir una alarma a tiempo para garantizar el funcionamiento seguro del equipo.
En general, el diseño estructural de la máquina de recubrimiento de múltiples arcos considera completamente todos los aspectos del proceso de recubrimiento y garantiza la consistencia y estabilidad de la calidad de recubrimiento a través de una estructura precisa y un sistema de control avanzado.
