Reparación y mantenimiento de la bomba de difusión de la máquina de recubrimiento de vacío

La bomba de difusión es el componente principal de la máquina de recubrimiento de vacío. Para que la máquina funcione en buenas condiciones, es muy importante mantener y mantener la bomba de difusión de la máquina de recubrimiento de vacío.
1. El agua de enfriamiento debe mantenerse sin obstruir durante la operación de la bomba de difusión. Después de detener el calentamiento, el agua de enfriamiento se puede apagar solo después de que el fluido de trabajo de la bomba se haya enfriado por completo.
2. Cuando la bomba de difusión deja de funcionar, la bomba debe mantenerse en estado de vacío para evitar que el aceite de la bomba se deteriore.
3. El gas bombeado debe ser seco, no corrosivo y libre de polvo.
4. Si la bomba de difusión no se usa temporalmente, debe mantenerse en estado de vacío durante el almacenamiento para evitar la contaminación del aceite de la bomba y la corrosión de varias partes, y desahogar el agua restante en la chaqueta de agua de enfriamiento. La temperatura ambiente del sitio debe mantenerse entre 10 y 40 grados centígrados.
5. El rendimiento de la bomba de difusión se deteriorará gradualmente después de la operación a largo plazo, y debe verificarse regularmente. Por ejemplo: si el aceite de la bomba se reduce u oxida, agregue aceite o reemplácelo de acuerdo con los requisitos correspondientes; Las piezas y la cámara de la bomba se limpian primero con gasolina de aviación, luego se frotan con acetona y se colocan a 80-100 grados centígrados para secar o secar con un secador de pelo. Después del procesamiento, ensamble en orden, mantenga el núcleo de la bomba y el fondo de la bomba vertical y concéntrico con la cámara de la bomba, y ajuste los espacios entre las boquillas en cada nivel de acuerdo con los requisitos originales.
6. Después de que el agua se evapore, instale el núcleo de la bomba, agregue el nuevo aceite de la bomba de difusión y reinstale el cuerpo, conecte la tubería de agua, instale la placa de estufa eléctrica y luego puede reiniciar la máquina.
7. Antes de reiniciar, preste atención a la detección de fugas. El método es: comenzar la bomba de mantenimiento, cerrar la puerta de la cámara de vacío y, después de unos minutos, observe si el grado de vacío es de 6*100 Pa, de lo contrario, se requiere detección de fugas para verificar si falta el anillo de goma de sellado en la conexión o el anillo de sellado está triturado. El calentamiento se puede llevar a cabo solo después de eliminar el peligro oculto de fugas, de lo contrario, el aceite de la bomba de difusión se agotará y no puede ingresar al estado de trabajo.