La neblina blanca en el interior de la pieza de trabajo en una máquina de recubrimiento al vacío es más compleja de provocar que en el exterior. Las posibles causas incluyen:
1. Problemas con la estructura de la película: estructura columnar suelta de la película exterior o una película exterior demasiado rugosa;
2. Ángulo de evaporación excesivo, lo que da como resultado una estructura de película rugosa;
3. Diferencia de temperatura: Diferencia de temperatura excesiva entre el interior y el exterior de la lente cuando se retira del recubrimiento;
4. Humedad: Humedad en el ambiente donde se coloca la lente después de retirarla del recubrimiento;
5. Humedad excesiva durante el descongelamiento del POLYCOLD en la cámara de vacío;
6. Oxigenación incompleta durante la deposición de vapor, lo que da como resultado una estructura de película desigual;
7. Estrés entre películas.
Estrategias de mejora: dado que existen muchas causas de la neblina blanca en el exterior de la película, cada una con sus propias características, se recomiendan soluciones específicas. Las principales estrategias son: primero, hacer que la película sea más densa y suave para evitar la adsorción; y segundo, mejorar el medio ambiente para reducir los objetos que pueden ser adsorbidos.
Estrategias de mejora:
1. Mejore el sistema de película agregando sílice a la capa exterior para hacer que la superficie de la película sea suave y menos propensa a la adsorción. Mejorar el ambiente durante la extracción de lentes (seco y limpio).
2. Reduzca la temperatura de la lente durante la extracción (extienda el tiempo de enfriamiento en la cámara de vacío) para reducir la diferencia de temperatura y el estrés.
3. Mejorar la oxigenación (aumentar la cantidad) y mejorar la estructura de la película.
4. Reduzca adecuadamente la tasa de evaporación para mejorar la estructura columnar.
5. Utilice un recubrimiento asistido por iones-para mejorar la estructura de la película.
6. Agregar una pequeña válvula de gas durante el descongelamiento polifrío (su función es eliminar la humedad puntualmente).
7. Mejore el ángulo de evaporación modificando la fuente y el accesorio de evaporación.
8. Mejorar la rugosidad superficial del sustrato.
9. Preste atención al nivel de vacío durante la descongelación policold.
Se forma una neblina blanca dentro de la capa de recubrimiento en las piezas de trabajo-recubiertas al vacío y no se puede eliminar con un paño.
Posibles causas:
1. Sustrato sucio, residuos de procesos anteriores.
2. Contaminación por corrosión en la superficie de la lente.
3. Incompatibilidad entre materiales de revestimiento y entre material de revestimiento y sustrato.
4. Oxigenación insuficiente de los óxidos.
5. La primera capa de recubrimiento de óxido de circonio puede provocar una opacidad blanca en algunos sustratos.
6. Contaminación por humedad del sustrato antes (después de la limpieza) antes de la encapsulación.
7. Limpieza deficiente o limpieza, dejando marcas de limpieza o limpieza.
8. Cámara de vacío sucia, humedad excesiva.
9. Alta humedad ambiental.
Estrategia de mejora: el sustrato en sí es probablemente el problema principal, mientras que el recubrimiento pretende compensarlo. El problema más importante del revestimiento en sí es probablemente la compatibilidad de los materiales de revestimiento.
Medidas de mejora:
1. Mejorar el sistema de recubrimiento; Evite el uso de óxido de circonio como primera capa.
2. Minimizar el tiempo de apertura de la cámara de vacío; garantice una limpieza exhaustiva y la preparación del recubrimiento entre cámaras de vacío en el menor tiempo posible.
3. Después de volver a colocar la placa protectora y limpiar la cámara de vacío, lo mejor es realizar un proceso de horneado al vacío con la cámara vacía. Las placas protectoras reemplazadas y otros componentes de la cámara de vacío deben estar secos y limpios.
4. Mejorar el medio ambiente.
5. Proteja adecuadamente las lentes de las placas en forma de paraguas-antes de que entren a la cámara de vacío para evitar la contaminación.
6. Mejorar los efectos de limpieza y limpieza.
7. Mejore la compatibilidad del recubrimiento (considere usar Al2O3 para la primera capa).
8. Mejorar las tasas de oxigenación y evaporación del recubrimiento (reducirlas).
9. Acelere el flujo de trabajo de pre-procesamiento. Reforzar la protección de superficies pulidas ya procesadas en la etapa de pre-procesamiento.
10. Las superficies pulidas deben limpiarse inmediatamente después del pulido; no debe adherirse ni secarse ningún polvo de pulido u otras impurezas.
