1. Cámara de vacío
La cámara de vacío es la parte central de la máquina de recubrimiento de vacío. Su función principal es crear un entorno de vacío y mantener el proceso de recubrimiento en estado de vacío. La cámara de vacío generalmente está hecha de acero inoxidable o materiales de aleación de aluminio, con alto sellado de vacío y resistencia a la corrosión.
2. Sistema de bomba
El sistema de la bomba es uno de los componentes clave de la máquina de recubrimiento de vacío. Es principalmente responsable de extraer el gas en la cámara de vacío para que el grado de vacío alcance el grado requerido. El sistema de la bomba generalmente se compone de bombas moleculares, bombas mecánicas y bombas de difusión. Las diferentes combinaciones de bombas pueden lograr diferentes grados de vacío y velocidades de bombeo.
3. Dispositivo de sujeción de sustrato
El dispositivo de sujeción del sustrato es otro componente importante de la máquina de recubrimiento de vacío. Se utiliza para fijar el material del sustrato para recubrir y controlar su posición y trayectoria de movimiento. El dispositivo de sujeción del sustrato generalmente se compone de una tabla giratoria, un mecanismo de elevación y una abrazadera de sustrato. Las diferentes abrazaderas pueden adaptarse a sustratos de diferentes formas y tamaños.
4. Sistema de calefacción
El sistema de calefacción es un componente necesario en la máquina de recubrimiento de vacío. Puede calentar el sustrato y el material de recubrimiento para promover la formación del recubrimiento y mejorar su calidad. El sistema de calentamiento generalmente se implementa mediante alambre de resistencia, calentamiento electromagnético, calentamiento de inducción y otros métodos.
5. Fuente de recubrimiento
La fuente de recubrimiento es el último componente en la máquina de recubrimiento de vacío. Se utiliza para proporcionar el material que necesita estar recubierto, generalmente incluyendo metales, cerámica, silicio y otros materiales. La fuente de recubrimiento puede depositar el material en el sustrato por haz de electrones, evaporación, pulverización y otros métodos para formar el recubrimiento requerido.
Resumen: La máquina de recubrimiento de vacío es un dispositivo utilizado para fabricar recubrimientos de alta calidad, en el que la cámara de vacío, el sistema de la bomba, el dispositivo de sujeción de sustrato, el sistema de calentamiento y la fuente de recubrimiento son sus componentes principales. Estos componentes trabajan juntos para completar el proceso de preparación de recubrimiento.
