Máquina de recubrimiento al vacíoSe refiere principalmente a un tipo de recubrimiento que debe realizarse bajo un grado relativamente alto de vacío, incluidos muchos tipos, incluida la evaporación de iones al vacío, la pulverización catódica con magnetrón, la epitaxia de haz molecular MBE, la deposición por pulverización catódica con láser PLD, etc. La idea principal es dividirlo en dos tipos: evaporación y pulverización catódica.
El proceso de color degradado generalmente utiliza equipos de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón. Actualmente, las carcasas de colores degradados de muchos modelos de teléfonos móviles, como Huawei y Lenovo, utilizan el proceso de revestimiento degradado al vacío PVD.
La pulverización catódica con magnetrón es un tipo de deposición física de vapor (Physical Vapor Deposition, PVD). El método general de pulverización catódica se puede utilizar para preparar metales, semiconductores, aislantes y otros materiales, y tiene las ventajas de un equipo simple, fácil control, gran área de recubrimiento y fuerte adhesión.
El método de pulverización catódica con magnetrón desarrollado en la década de 1970 ha logrado alta velocidad, baja temperatura y poco daño. Debido a que la pulverización catódica a alta-velocidad se realiza a baja presión, la tasa de ionización del gas debe aumentarse de manera efectiva. La pulverización catódica con magnetrón introduce un campo magnético en la superficie del cátodo objetivo y utiliza el campo magnético para restringir las partículas cargadas para aumentar la densidad del plasma y aumentar la velocidad de pulverización.
La máquina de recubrimiento al vacío por pulverización catódica con magnetrón es el equipo más comúnmente utilizado para recubrir productos existentes en condiciones de vacío. Una máquina completa de recubrimiento al vacío por pulverización catódica con magnetrón se compone de varias partes del sistema. Cada sistema puede completar diferentes funciones para lograr un recubrimiento final de alta-calidad. Los componentes del recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón incluyen cámara de vacío, bomba mecánica, sistema de prueba de vacío, bomba de difusión de aceite, sistema de vacío, bomba de condensación, sistema de control de formación de película, etc.
El cuerpo principal de la máquina de recubrimiento al vacío por pulverización catódica con magnetrón es la cámara de vacío. El tamaño de la cámara de vacío está determinado por los productos procesados. El tamaño del recubrimiento de pulverización catódica del magnetrón se puede personalizar. La cámara generalmente está hecha de acero inoxidable y debe ser resistente, duradera y libre de óxido-. La cámara de vacío de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón tiene muchas válvulas de conexión para conectar varias bombas auxiliares.
El sistema de control de formación de película de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón puede adoptar diferentes métodos, como tiempo de recubrimiento fijo, inspección visual, monitoreo extremo y monitoreo de vibración del cristal. Las máquinas de recubrimiento al vacío y los métodos de recubrimiento con máquinas de recubrimiento al vacío también se dividen en varios procesos. Los más utilizados incluyen el recubrimiento por evaporación de iones y el recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón. La capa de película recubierta mediante pulverización catódica con magnetrón tiene una fuerte adhesión y alta pureza, y puede pulverizar una variedad de materiales con diferentes composiciones al mismo tiempo.
