Muchos clientes se confunden al comprarmáquinas de recubrimiento al vacío. Saben qué tipo y modelo de máquina de recubrimiento necesitan, pero no pueden determinar qué estándares debe cumplir la máquina para ser considerada de buena y alta-calidad. Esta confusión les lleva a tomar muchos desvíos. A continuación, Puyuan Vacuum proporcionará una introducción detallada a los requisitos técnicos básicos que debe cumplir una máquina de recubrimiento al vacío.
Evaporación al vacío, ionización catódica, pulverización catódica:
1.La estructura de las tuberías de vacío y los componentes de sellado estático del equipo deben cumplir con GB/T6070.
2.Se deben instalar medidores de vacío en las tuberías de bajo-vacío y alto-vacío y en la cámara de recubrimiento al vacío para medir el nivel de vacío en cada ubicación. Si se detecta interferencia del campo eléctrico, se debe instalar un dispositivo de protección del campo eléctrico en el puerto de medición.
3.Si la bomba principal utilizada en el equipo de recubrimiento PVD es una bomba de difusión, se debe instalar una trampa de vapor de aceite en el lado de entrada de la bomba.
4. La cámara de recubrimiento del equipo de recubrimiento al vacío debe estar equipada con una ventana de observación y un dispositivo deflector. La ventana de observación debería permitir observar el estado de funcionamiento de la fuente de deposición y otros componentes críticos.
5. El diseño de la fuente de deposición de revestimiento de iones debe maximizar la tasa de ionización durante el proceso de recubrimiento, mejorar la tasa de utilización del material de recubrimiento, igualar racionalmente la potencia de la fuente de deposición y organizar racionalmente la posición de la fuente de deposición dentro de la cámara de vacío.
6.El dispositivo de calefacción debe estar dispuesto de forma racional; En general, el diseño de la estructura del calentador debe garantizar un aumento uniforme de la temperatura de la pieza de trabajo que se está recubriendo.
7. El portapiezas debe estar aislado de la cámara de vacío y el diseño del portapiezas debe garantizar que la capa de película de la pieza sea uniforme.
8. Las máquinas de recubrimiento al vacío de iones generalmente deben tener un voltaje de polarización negativa de la pieza de trabajo y una fuente de alimentación de bombardeo de iones. La fuente de alimentación de bombardeo de iones debe tener un dispositivo para suprimir la descarga anormal y mantener un funcionamiento estable.
9.Los valores de resistencia de aislamiento entre diferentes partes de la cámara de vacío conectadas a diferentes potenciales deberán cumplir con 4.4.6 de GB/T11164-1999.
10. Otras precauciones
(1) Temperatura ambiente: 10-30 grados
(2) Humedad relativa: no superior al 75%
(3) Temperatura de entrada del agua de refrigeración: no superior a 25 grados
(4) Calidad del agua de refrigeración: agua del grifo municipal o agua de calidad equivalente.
(5) Alimentación: 380V trifásico-50Hz o 220V monofásico-50Hz (dependiendo de los aparatos eléctricos utilizados); rango de fluctuación de voltaje: 342-399 V o 198-231 V; rango de fluctuación de frecuencia: 49-51 Hz.
(6) La presión, temperatura y consumo de aire comprimido, nitrógeno líquido, agua fría, agua caliente, etc., requeridos por el equipo deben especificarse en el manual de instrucciones del producto.
(7) El entorno circundante al equipo debe estar limpio y el aire debe estar libre de polvo o gases que puedan causar corrosión de componentes eléctricos u otras piezas metálicas, o conducción entre metales.
