Requisitos del entorno de trabajo de la máquina de recubrimiento al vacío

La máquina de recubrimiento de vacío se refiere principalmente a un recubrimiento que debe llevarse a cabo bajo altos vacío, incluida la evaporación de iones de vacío, la pulverización de magnetrón, la epitaxia del haz molecular, la deposición de pulverización con láser PLD y muchos otros tipos. Su idea principal se divide en evaporación y pulverización.
Requisitos de entorno de trabajo de la máquina de recubrimiento de vacío:
El equipo de recubrimiento de vacío debe funcionar en condiciones de vacío, por lo que el equipo debe cumplir con los requisitos de vacío para el medio ambiente. Los requisitos de vacío para el medio ambiente generalmente incluyen los requisitos de los equipos de vacío para la temperatura de laboratorio (o taller), aire y otras partículas en el entorno circundante, y los requisitos para piezas o superficies en vacío o vacío.
Estos dos aspectos están estrechamente relacionados. El entorno circundante afecta directamente el uso normal de equipos de vacío; Si la cámara de vacío o las piezas instaladas en el equipo de vacío están limpios afecta directamente el rendimiento del equipo. Si hay mucho vapor de agua y polvo en el aire, es difícil lograr el grado de vacío esperado bombeando con una bomba mecánica sellada con aceite sin limpiar la cámara de vacío. Es bien sabido que las bombas mecánicas selladas con aceite no deben bombear gases que contengan polvo de partículas que sea corrosivo a los metales y reactivos al aceite de vacío. El vapor de agua es un gas condensable. Cuando se bombea una gran cantidad de gas condensable, la contaminación del aceite de bomba será más grave. Por lo tanto, se reducirá el último vacío de la bomba y el rendimiento de bombeo de la bomba se verá afectado.
El polvo en los ambientes industriales se caracteriza por cuerpos en polvo, ojos sin título y polvo. El polvo es una sustancia en un estado de agregación o dispersión de polvo o partículas sólidas. El llamado polvo se refiere a una colección de pequeñas partículas sólidas, y las partículas se refieren a sustancias pequeñas que pueden contar una por una. El humo es un sistema material en el que existen pequeñas partículas de sólido o líquido en un estado flotante en el gas. Las sustancias en un estado granular, ya sean sólidos o líquidos, se denominan colectivamente partículas de polvo. El estándar de limpieza del aire está determinado por el tamaño del tamaño de partícula de polvo, personalizando así el grado de sala limpia. No solo es aplicable a los sectores industriales con requisitos limpios, sino también a los requisitos de vacío para entornos limpios.