La máquina de recubrimiento de PVD de sustrato de cerámica es un equipo clave para la deposición de la película delgada de alta precisión de materiales cerámicos (como óxido de aluminio, nitruro de aluminio, nitruro de silicio, óxido de circonio, etc.).
Utiliza la tecnología de deposición de vapor físico en un entorno de vacío para formar varias películas funcionales en la superficie de los sustratos de cerámica.
Las máquinas de recubrimiento de PVD de sustrato de cerámica se han convertido en un equipo de núcleo indispensable para realizar la funcionalización de la superficie de sustratos cerámicos (conductor, térmico, soldable, unido, protector, óptico, etc.) en electrónica de alta gama, optoelectrónicos, semiconductores, semiconductores de energía y otros campos debidos a sus ultravablos de vibración, control de procesos de cooeltos de altura, altura de la tinción (altura de la tecnología de cooatación de tensión (excelentes opciones de cooatación (excelentes cooTonías (excelentes opciones de cooatación (excelentes opciones de tina y otros campos. pureza, densidad, adhesión fuerte, alta precisión).
Aplicaciones:
Embalaje electrónico
Metalización en soportes de chips LED, sustratos de módulo de potencia, carcasas/sustratos de dispositivos RF de microondas y paquetes de cerámica semiconductores.
Optoelectrónica
Metalización de sustratos de cerámica/disipadores de calor para LED, láseres y fotodetectores.
Semiconductores
Interconexiones en capas estructurales del dispositivo MEMS, electrodos de sensores y capas de aislamiento cerámico.
Electrónica de potencia
Metalización de la superficie (Cu, Al) y Capas de barrera/protección de sustratos de cerámica (DCB, AMB) para dispositivos de potencia como IGBT y MOSFET.
Circuitos de película delgada
Resistencias de película delgada, condensadores, inductores y líneas de transmisión en sustratos de cerámica para circuitos integrados híbridos y circuitos de onda milimétrica de microondas.
Sensores
Electrodos y cables funcionales para varios sensores de sustrato cerámico (presión, temperatura, gas).
Aeroespacial y defensa
Alta confiabilidad, componentes electrónicos resistentes al entorno extremo y piezas de cerámica.
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