Equipos de recubrimiento al vacíoA menudo se encuentra con situaciones inesperadas durante el funcionamiento, como cortes de agua, cortes de energía y fugas de aire. Cuando se enfrentan a estas situaciones, los operadores pueden sentirse perdidos y no estar seguros de cómo manejarlas. A continuación, Puyuan Vacuum proporcionará un plan de emergencia detallado para el funcionamiento del equipo de recubrimiento al vacío:
1. El equipo de recubrimiento PVD requiere limpieza después de un período de funcionamiento.
Después de un período de funcionamiento, normalmente de 50 a 70 ciclos del horno, el equipo de recubrimiento PVD necesita limpieza para eliminar el polvo del horno. Luego, haga funcionar el horno una vez sin carga. El procedimiento implica primero evacuar el horno a un nivel de vacío superior a 10⁻² Pa y luego calentarlo a una temperatura generalmente 20 grados superior a la temperatura de funcionamiento normal. Mantenga esta temperatura al nivel más alto posible durante al menos una hora y luego déjela enfriar naturalmente. Este proceso mantiene limpio el espacio interno del equipo de recubrimiento al vacío.
2. Reemplazo del cilindro de gas
Cuando sea necesario reemplazar el cilindro de gas utilizado en el equipo de recubrimiento al vacío, retire la válvula reguladora de presión y reemplácela con un cilindro nuevo. Asegúrese de que no haya fugas durante la instalación. Después de reemplazar el cilindro, antes de calentar la pieza de trabajo, se debe purgar el horno durante el proceso de evacuación para eliminar el aire atrapado en la tubería durante el reemplazo del cilindro, manteniendo limpia la tubería de purga.
3. Aplique una pequeña cantidad de aceite lubricante a las piezas giratorias.
Aplique una pequeña cantidad de aceite de bomba de vacío a las piezas giratorias para lubricarlas. Asegúrese de que la bomba de vacío esté limpia, libre de hierro, arena y polvo. Asegurar un buen contacto en el sistema de posicionamiento. La bomba de vacío debe girar fácilmente sin desniveles ni obstrucciones graves.
4. Fuga de aire repentina detectada durante el funcionamiento normal
Si se detecta una fuga de aire repentina durante el funcionamiento normal y el punto de fuga se puede localizar inmediatamente, se debe sellar con sellador al vacío. Se pueden realizar más reparaciones una vez finalizado el trabajo actual. Si no se puede localizar la fuga, se debe detener el trabajo inmediatamente y se deben realizar reparaciones.
5. Cortes de agua y energía durante altas temperaturas
Los equipos de vacío son más vulnerables a cortes de agua y energía durante las altas temperaturas. Por lo tanto, lo ideal es que los usuarios instalen un tanque de agua de respaldo o lo conecten a un suministro de agua del grifo durante la instalación del equipo. Si el equipo experimenta un corte de agua o energía durante altas temperaturas, todas las bombas y válvulas deben cerrarse. Los operadores deben conectar inmediatamente el suministro de agua de respaldo o agua del grifo para enfriar el equipo con agua. Si no se puede restablecer la energía rápidamente, se debe abrir la válvula de inflado manual del sistema de inflado/desinflado para inflar el equipo como protección, con una presión de inflado de aproximadamente -0,02 MPa. Luego, gire todos los botones del gabinete de control a la posición "apagado". Simultáneamente, aplique una toalla húmeda a la interfaz de salida del electrodo y reemplácela periódicamente para evitar el sobrecalentamiento de la interfaz del electrodo y daños al anillo de sellado.
Como ingeniero que trabaja con equipos de recubrimiento al vacío, es esencial dominar los planes de respuesta a emergencias. Pueden surgir situaciones inesperadas durante el funcionamiento y una intervención oportuna es crucial para evitar pérdidas innecesarias.
