La máquina de recubrimiento al vacío óptica consta de un sistema de vacío, un sistema de evaporación, un sistema de enfriamiento y un sistema eléctrico. El sistema de vacío consta de un tanque de vacío y un sistema de escape. El tanque de vacío es el cuerpo principal de la máquina de recubrimiento y el proceso de recubrimiento se completa en el tanque de vacío. El tanque de vacío y el sistema de escape están conectados mediante una válvula de conexión. Para evitar la influencia de las moléculas de aire sobre los iones pulverizados y mejorar la calidad de la capa de película, los componentes ópticos y la fuente de iones deben colocarse en un ambiente de vacío durante la operación.
El sistema de escape consta principalmente de una bomba mecánica, una bomba Roots y una bomba de vacío, que es responsable de agotar el gas en el tanque de vacío y formar un ambiente de vacío en el tanque. El sistema de evaporación se refiere principalmente al dispositivo formador de película. Hay muchos tipos de dispositivos formadores de película en la máquina de recubrimiento, como calentamiento por resistencia, evaporación con cañón de electrones, pulverización catódica con magnetrón, pulverización catódica por radiofrecuencia, revestimiento iónico, etc.
Las máquinas de recubrimiento al vacío óptico aplican películas delgadas a componentes ópticos mediante pulverización catódica al vacío, modificando la reflectividad y transmitancia de la luz incidente. Para minimizar las pérdidas por reflexión en la superficie del componente y mejorar la calidad de la imagen, a menudo se aplican múltiples capas de películas delgadas. Después de recubrir un componente óptico, la luz se refleja y transmite múltiples veces sobre la superficie de la película multicapa, formando múltiples haces de interferencia. Controlando el espesor y el índice de refracción de las capas de película, se pueden lograr distribuciones de intensidad variables. Este principio se puede utilizar para fabricar películas reflectantes polarizadas, películas de división de colores, películas de luz fría y filtros de interferencia para satisfacer necesidades más complejas.
