Máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón

Dentro de una cámara de vacío, se utiliza un campo magnético para confinar una descarga luminosa, lo que hace que los iones de argón bombardeen el material objetivo a altas velocidades, los átomos objetivo se pulverizan y depositan sobre la superficie de la pieza de trabajo para formar una película delgada y densa-un proceso clasificado como deposición física de vapor (PVD).

Características del equipo

Compatible con varios tipos de objetivos de pulverización catódica
Admite objetivos de pulverización catódica con magnetrón de CC, MF y RF, admite objetivos metálicos y cerámicos de óxido, lo que permite la deposición de películas dieléctricas tanto metálicas como aislantes.

Mecanismo de revolución y rotación del sustrato.
El bastidor de piezas de trabajo utiliza un sistema de rotación planetaria, lo que permite que las piezas de trabajo dentro del horno giren y giren simultáneamente, lo que garantiza una excelente uniformidad del espesor de la película en toda la carga del horno y minimiza la variación de color.

Sistema de pretratamiento de iones-de baja-temperatura
Equipado con una{0}}fuente de limpieza de iones incorporada, el sistema bombardea la superficie de la pieza de trabajo con plasma antes del recubrimiento para eliminar los contaminantes de aceite y las capas de óxido. Permite la deposición de películas a baja-temperatura con un calentamiento mínimo del sustrato, lo que lo hace adecuado para procesar plásticos-sensibles al calor, como ABS y PC, sin provocar quemaduras ni deformaciones.

Configuración de unidad de vacío independiente
Combinación de una bomba turbomolecular, una bomba Roots y una bomba de paletas rotativas, lo que garantiza una curva de bombeo estable.

Sistema de control industrial PLC completamente automático
Automatización de procesos, las recetas de procesos se pueden almacenar y recuperar con un solo clic.

Control de flujo de gas de precisión
Utiliza múltiples controladores de flujo másico (MFC) para regular con precisión gases reactivos como argón, oxígeno y nitrógeno, lo que lo hace adecuado para la deposición reactiva por pulverización catódica de películas compuestas de óxido y nitruro.

Protección de interbloqueo de seguridad
Incluye enclavamientos para la puerta de la cámara y el sistema de vacío, así como protecciones contra sobrecarga, escasez de agua y corte de energía, apagado automático al detectar anomalías para proteger la fuente objetivo y el sistema de vacío.

Revestimiento decorativo
Cajas de relojes, artículos de baño, cabezas de palos de golf, artesanías, juguetes, reflectores de faros de automóviles y carcasas y botones de teléfonos móviles o electrodomésticos. Capaz de producir revestimientos decorativos de imitación de oro, negro plomizo, ultra-negro y de colores, sirve como una alternativa ecológica-respetuosa y libre de contaminación-a la galvanoplastia tradicional-a base de agua.

Sustratos compatibles: plástico ABS, vidrio, cerámica, azulejos y metales diversos.

 

Películas funcionales
Moldes y herramientas:-recubrimientos protectores resistentes al desgaste para herramientas de corte y moldes/troqueles

El espesor de la película es controlable y repetible.

Puede depositar de manera confiable una película de espesor predeterminado y el recubrimiento por pulverización catódica puede obtener un espesor de película uniforme en una superficie grande.

La película tiene una fuerte adherencia al sustrato.

Algunos átomos pulverizados de alta-energía producen diferentes grados de inyección, formando una capa de pseudo-difusión sobre el sustrato donde los átomos pulverizados y los átomos del sustrato se fusionan entre sí.

Preparación de películas delgadas de materiales especiales.

Se pueden preparar películas mixtas y películas compuestas pulverizando diferentes materiales al mismo tiempo. Las películas de TiN que imitan el oro también se pueden pulverizar.

La película tiene una alta pureza y la película pulverizada no se mezclará con los componentes del material del calentador del crisol.

Equipado con una fuente auxiliar de iones de baja-temperatura, puede formar películas mediante recubrimiento en frío a temperatura ambiente sin calentamiento, lo que ahorra energía y electricidad y mejora la capacidad de producción.